【48812】苏企成功研制国内首台全自动精抛立式清洗机

  苏报讯（记者 陈兆帅 通讯员 王洁）近来，坐落吴中区的江苏芯梦半导体设备有限公司宣告，成功研制并交付了国内首台全自动精抛立式清洗机。

  该公司长时间深耕半导体湿法制程配备的研制和出产，先后推出国内首台全自动ENEPIG镍钯金化学镀设备、国内首台全自动FOUP整理洗刷设备等多款高端湿法工艺配备。此次新推出的全自动精抛立式清洗机，专为高效铲除化学机械抛光后外表的颗粒污染物而规划，其工艺精度已达19纳米级，展示公司在精细制作技术上的深沉见识。此款全自动精抛立式清洗机经过先进的机械规划与自动化操控办理体系的结合，极大提高清洗功率和质量，还保证了工艺流程的高稳定性和可靠性。

  当时，吴中区环绕半导体与集成电路工业，活跃构建完善的工业生态链。区内企业如中科亿海微、炬佑智能、宝士曼等，在各自领域内不断打破，为国产半导体资料和设备的自主可控贡献了重要力气。跟着奥康银华总部、姑苏欧帝半导体专用设备项目等的入驻与推动，吴中区在射频基带一体化芯片、半导体专用设备等细分商场的布局也日益完善。